是否能將高純度、高潔凈的氣體送至用氣點，不僅取決于制氣和凈化設備的精度，在很大程度上還受到管路系統諸多因素的影響，因此，管材的選擇應格守下列原則，并應在設計圖上注明管材材質，下面筆記就談下凈化車間氣體輸配管道選材要求。

1.滲透性小

滲透性又稱為透氣性。氣體從高壓一側透過材料向低壓一側流動的現象稱為滲透。氣體的滲透量與材料兩側的壓差和材料的截面積成正比。高純氣體中的水分是以ppm（1×10-6），ppb（1×10-9），ppt（1×10-12）來計量的，由于選材不當，會使管外的水分、氧等雜質滲入管內，污染高純度的氣體。圖1是不同材料滲透性的一組實測數據。

圖1

2.出氣率低

在材料晶格內部或晶格間存在著某些氣體雜質，如氮、碳氫化合物等。在高純氣體的輸送過程中，這些雜質氣體會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是要求雜質含量達ppb（1×10-9）級的高純氣體更易被污染。所以，選材時要選用出氣率低的材料，如低碳不銹鋼管，且內表面應經進一步的處理，以降低出氣率。

3.吸附性能差

水分等雜質是極性分子，吸附性很強，橡膠、塑料或一些粗糙的表面均極易吸附水分等雜質。所以，使用吸附性能好的材料輸送高純氣體會污染高純氣體。圖2列出不同管道材料的吸附性和滲透性。可見，凡是與高純氣體接觸的部分均不得使用橡膠、塑料制品。

圖2

4.內表面光滑、耐磨損

管材的這一要求對輸送高純氣體至為重要。管材內表面的光滑度高，可以防止污染粒子和水汽在管內滯留和吸附；耐磨性好可以減少管材本身在高速氣流的沖刷（擊）下產生的金屬粉末，避免污染高純氣體。圖3對銅管和不銹鋼管在高速氣流沖刷下的產塵量作了比較。可以看出不銹鋼管的耐磨性優于銅管。

圖3

5.耐腐蝕

在生產工藝中，使用腐蝕性強的氣體時必須選用耐腐蝕的不銹鋼管，不得使用普通無縫鋼管或鍍鋅鋼管，不然會污染高純度氣體。

6.性能穩定，在焊接處理時管材組織不發生變化

在輸送大流量的高純度氣體時，管道的連接原則上全部采用焊接。這就要考慮管材在焊接時受高溫熱影響的部位不能發生組織變化。含碳量過高的鋼管在高溫下會析出碳，產生局部腐蝕應力，增加了焊接部位的滲透性（透氣性），破壞了輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，使得先前的一切努力付諸東流。所以，選用低碳鋼管（如316L不銹鋼管）就合適多了。另外，鍍鋅鋼管的焊接會破壞鍍鋅層，如在焊后將管內外實施補鍍鋅，其實際操作極不容易，補如不完美，反而加速該處的腐蝕速度。因此，高純度氣體管道不得使用鍍鋅鋼管。