凈化車(chē)間施工的技術(shù)參數(shù)是一個(gè)比較復(fù)雜的問(wèn)題。隨著技術(shù)的進(jìn)步,應(yīng)用凈化車(chē)間的行業(yè)越來(lái)越多,不同行業(yè)的凈化車(chē)間有不同的參數(shù),所以技術(shù)參數(shù)也越來(lái)越多。微電子行業(yè)對(duì)于氣浮微粒濃度的要求較高;醫(yī)藥行業(yè)對(duì)于氣浮細(xì)菌濃度的要求較高;精密測(cè)量和精密加工行業(yè)對(duì)于溫度和振動(dòng)的要求較高。鑒于上述情況,凈化車(chē)間的技術(shù)參數(shù)可以分為基本參數(shù)和特殊參數(shù)兩大類(lèi)。
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一、凈化車(chē)間施工的基本參數(shù)
1.潔凈度
潔凈度是凈化車(chē)間的最重要最基本的技術(shù)指標(biāo),其單位是:?jiǎn)挝惑w積的空氣中粒徑不小于某一尺度的微粒個(gè)數(shù)。微電子行業(yè)對(duì)于潔凈度的要求最高,其次是光電子行業(yè)。
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2.微生物濃度
微生物濃度是凈化車(chē)間的另一項(xiàng)重要技術(shù)指標(biāo),其單位是:單位體積的空氣中微生物的個(gè)數(shù)。生物工程行業(yè)對(duì)于微生物濃度的要求最高,其次是醫(yī)療、制藥、食品、飲料、化妝品等行業(yè)。微生物的種類(lèi)繁多,有病毒、細(xì)、真菌、藻類(lèi)、孢子、花粉、螨蟲(chóng)等。空氣中的微生物是空氣中微粒的一部分,確切地說(shuō)是危害較大的一部分。通常測(cè)定的是空氣中細(xì)菌的濃度。
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3.溫度
溫度是基本的工作條件,幾乎所有的凈化車(chē)間對(duì)于溫度都有明確的要求。溫度會(huì)影響物體的尺度,從而影響加工的精確度,所以精密加工對(duì)于溫度有相當(dāng)嚴(yán)格的要求。溫度會(huì)影響儀器的參數(shù),從而產(chǎn)生測(cè)定誤差,所以精密測(cè)量?jī)x器對(duì)于溫度的要求也較高。
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4.濕度
濕度也是基本的工作條件,幾乎所有的凈化車(chē)間對(duì)于濕度都有明確的要求。濕度過(guò)大會(huì)使許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而影響產(chǎn)品質(zhì)量,甚至使設(shè)備失效,產(chǎn)品報(bào)廢。濕度過(guò)低又會(huì)使許多物質(zhì)脫水變形,失去原有的功能。
5.風(fēng)速與風(fēng)量
足夠的風(fēng)速與風(fēng)量是潔凈度的保證,過(guò)大的風(fēng)速與風(fēng)量不僅浪費(fèi)能量,而且有時(shí)會(huì)影響正常的工作。
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6.氣壓與壓差
正常的氣壓是正常工作的基本條件。必要的壓差是控制漏氣方向的手段。微電子行業(yè)的凈化車(chē)間為了保證潔凈度,不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄漏。病毒實(shí)驗(yàn)室或傳染病房不允許室內(nèi)空氣向室外泄漏。
7.噪聲
過(guò)大的噪聲不僅會(huì)影響正常的工作,而且會(huì)影響人員的身體健康,降低噪聲是凈化車(chē)間的一項(xiàng)基本要求。
8.照度
適當(dāng)?shù)恼斩仁钦9ぷ鞯谋匾獥l件。
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二、凈化車(chē)間施工的特殊參數(shù)
1.振動(dòng)
振動(dòng)會(huì)影響儀器設(shè)備的穩(wěn)定性,從而影響儀器的準(zhǔn)確度,還會(huì)影響設(shè)備的加工精確度,所以有些凈化車(chē)間需要控制振動(dòng)。
2.靜電
靜電有許多危害,特別容易損壞微電子元件,所以微電子行業(yè)需要嚴(yán)格地控制靜電。
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3.有害氣體濃度
有害氣體的種類(lèi)繁多,有的會(huì)損害人體健康,有的會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品合格率,所以?xún)艋?chē)間需要控制有害氣體濃度。
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4.輻射強(qiáng)度
X射線(xiàn)、y射線(xiàn)、電磁波等輻射對(duì)人體有較大的損害,有時(shí)對(duì)生產(chǎn)設(shè)備或產(chǎn)品也有損害。