電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外，還有純水要求。我國電子級的純水技術指標如下圖所示。

圖1

 從上面圖可見，水質中對微生物的量也有很嚴的要求。

硅是以有機物和化合物的形式在硅片上留下痕跡的。金屬的影響將降低產(chǎn)品壽命。

潔凈度級別（ISO）在高于6級（不含）時，室內(nèi)不應設地漏，6級室內(nèi)必須設地漏時，應采用潔凈專用地漏，7級及其以上潔凈室不宜設排水溝，如必須設時，應在進入室外管網(wǎng)處設水封，此類等級潔凈室也不允許排水立管在室內(nèi)穿過電子工業(yè)潔凈室純水供應一般采用單管式循環(huán)系統(tǒng)，當對水質要求十分嚴格時，應采用雙管式循環(huán)系統(tǒng)（例如單晶硅圓片的生產(chǎn)）純水管材質可以在以下幾種材質中選擇:

低碳優(yōu)質不銹鋼管（304、304L、316、316L）、聚氯乙烯管、聚丙烯管、丙烯腈丁二烯苯乙烯管、聚偏二氟乙烯管

電子工業(yè)潔凈室常大量使用氫氣、氧氣、氮氣、氬氣和氦氣等，也使用一些特殊氣體，如硅烷等有毒和有爆炸危險的氣體。

設有氫氣等可燃氣體管道的場所，列人甲類火災危險區(qū)。氫氣、氧氣管道的末端或最高點應設高于屋面最高處1m以上的放散管。日用量不超過1瓶時，氣瓶可放在潔凈室內(nèi)。

特種氣體存放量不得超過1d的用量。可燃和有毒的特種氣體瓶應設在通風柜中，不間斷通風。硅烷或硅烷混合物只能單瓶存放于氣柜中。

氣體管道中的氣體露點低于60℃時，管道內(nèi)壁應拋光。

電子工業(yè)潔凈室的生產(chǎn)區(qū)、技術夾層、機房、站房等處均應設火災探測器，在空調(diào)凈化系統(tǒng)與新風混合前的回風管道中設置早期火災探測器。

電子工廠潔凈用房用電等級和供配電要求除考慮生產(chǎn)工藝外，應遵循國標《供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》的規(guī)定，這里不再說明。