對于電子廠潔凈廠房設(shè)計來，由于在生產(chǎn)某些產(chǎn)品的過程中，會產(chǎn)生有害氣體，我們不能直接將這些氣體排放到大氣中，必須經(jīng)過處理后排放，下面筆者就談下電子廠潔凈廠房有害氣體排放設(shè)計。

一、有害氣體種類

1、含酸類廢氣

主要來源于化學(xué)清洗工作中產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體。

2、含堿類廢氣

主要來源于化學(xué)清洗工作中產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體。

3、毒性廢氣

如含磷、硼、鎵、砷以及四氯化硅等的廢氣，主要來源于化學(xué)氣相沉積干蝕刻機、擴散、離子植入等工序。

4、工藝尾氣

如含H2、O2等工藝尾氣。

5、含有機溶劑廢氣等

生產(chǎn)過程中會使用多種有機物，如乙氧基全氟丁烷、全氟三丙基胺、全氟三丁基胺、全氟乙烷、丙二醇單甲基醚、異丙醇、乙醇、丁酮、丙酮、環(huán)己酮、乙醛等。這些有害物質(zhì)一則污染外環(huán)境的大氣，二則在進入空調(diào)系統(tǒng)后，對生產(chǎn)進一步造成危害，所以必須處理。

二、處理措施

對含酸、堿氣體可用濕式淋洗方法處理，可直接用水，或用其他化學(xué)溶液如氨水、氫氧化鈉溶液進行中和。

對含砷（如三氯化砷）、磷（如三氯化磷）等的廢氣，可噴進酸、堿溶液吸收，其中50％氫氧化鈉對PCl3吸收效果好，但對AsCl3的效果不理想。對含砷化氫（AsH3）的氣體可用飽和高錳酸鉀溶液噴淋吸收。對含四氯化硅（SiCl4）的尾氣可直接淋水進行水解。其他工藝尾氣如氮氣、氧氣、氨氣、硅烷等也可淋水吸收。

也可用加熱（燃燒）兼水洗方法去除有害氣體對于未處理的或反應(yīng)剩余的可燃性氣體如氫氣、硅甲烷，可利用加熱（燃燒）方式將其高溫氧化；若為有毒有腐蝕性或易爆氣體，可溶于水的，利用冷水洗滌冷卻。

還可用活性炭加添加劑的化學(xué)過濾器處理有害氣體。也可用化學(xué)吸附方式將有害氣體吸附至金屬罐中，通過壓力或出口濃度傳感器，檢測吸附劑是否飽和，定時更換吸附劑。

還可用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪加直燃式焚化系統(tǒng)，使廢氣經(jīng)過一濃縮轉(zhuǎn)輪濃縮，濃縮倍率可提高10倍，再將高濃度的有機廢氣送人燃燒機燃燒后排放，因此燃燒機的大小可為原來的1/10。后段燃燒分解效率可達99％通過轉(zhuǎn)輪機的氣體速度以不超過2m/s最佳。此種方式由于完全燃燒而無二次污染。

三、淋水式處理

淋水式是一種傳統(tǒng)的經(jīng)典方法，利用水洗方法將可溶于水的廢氣及粉塵水洗清除。部件有噴嘴、水泵、加堿設(shè)備及pH值分析器、進出口壓力敏感元件、流量敏感元件、控制監(jiān)視裝置等。

四、化學(xué)過濾器處理送風(fēng)和回風(fēng)

化學(xué)過濾器在系統(tǒng)中有以下配置方案：

1、設(shè)于新風(fēng)處理機組內(nèi)，消除新風(fēng)帶入的污染；

2、于回風(fēng)空調(diào)機組內(nèi)，消除生產(chǎn)中所產(chǎn)生的污染以節(jié)約新風(fēng)量及其他空調(diào)負荷；

3、與FFU結(jié)合控制送風(fēng)氣流的潔凈；

4、與微環(huán)境結(jié)合，設(shè)于生產(chǎn)設(shè)備近端以保證生產(chǎn)質(zhì)量。

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