凈化車間的凈化空調系統一般可分為集中式和分散式兩種類型。集中式凈化空調系統是凈化空調設備（如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效過濾器、風機等)集中設置在空調機房內,用風管將潔凈空氣送給各個潔凈室。分散式凈化空調系統是在一般的空調環境或低級別凈化環境中,設置凈化設備或凈化空調設備,如凈化單元、空氣自凈器、層流罩、潔凈工作臺等。隨著科學技術的發展,尤其是半導體集成電路制造技術的迅猛發展,對生產環境的空氣潔凈度要求越來越高,現今的超大規模集成電路生產要求控制空氣中的0.05μm的微粒濃度和分子級污染物,因此潔浄室的送風方式發生了很大變化,在半導體芯片工廠或類似生產過程要求高潔凈度的潔凈廠房中,其凈化空調系統采用循環空氣方式,其循環方式主要有集中方式、隧道方式、風機過濾單元(FFU)方式和微環境+開放式潔凈室方式等。這些送風方式既可滿足高潔凈度要求,還可以不同程度地降低能量消耗。

一、集中式凈化空調系統

1、單風機系統和雙風機系統

單風機系統的最大優點是空調機房占用面積小。但相對雙風機系統而言,其風機的壓頭大,噪聲、振動大。采用雙風機可分擔系統的阻力,此外,在藥廠等生物潔凈室,潔凈室需定期進行滅菌消毒,采用雙風機系統在新風、排風管道設計合理時,調整相應的閥門,使系統按直流系統運行,便可迅速帶走潔凈室內殘留的刺激性氣體。

2、風機串聯系統和風機并聯系統

在凈化空調系統中,通?？諝庹{節所需風量遠遠小于凈化所需風量,因此潔凈室的回風絕大部分只需經過過濾就可再循環使用,而無需回至空調機組進行熱、濕處理。為了節省投資和運行費,可將空調和凈化分開,空調處理風量用小風機,凈化處理風量用大風機,然后將兩臺風機再串聯起來構成風機串聯的送風系統。

當一個空調機房內布置有多套凈化空調系統時,可將幾套系統并聯,并聯系統可共用一套新風機組,并聯系統運行管理比較靈活,幾臺空調設備還可以互為備用以便檢修。

設有值班風機的凈化空調系統也是風機并聯的一種形式,所謂值班風機,就是系統主風機并聯一個小風機。其風量一般按維持潔凈室正壓和送風管路漏損所需空氣量選取,風壓按在此風量運行時送風管路的阻力確定。非工作時間,主風機停止運行而值班風機投入運行,使潔凈室維持正壓狀態,室內潔凈度不至于發生明顯變化。

二、分散式凈化空調系統

1、在集中空調的環境中設置局部凈化裝置(微環境/隔離裝置、空氣自凈器、層流罩潔凈工作臺、潔凈小室等)構成分散式送風的凈化空調系統。也可稱為半集中式凈化空調系統。

2、在分散式柜式空調送風的環境中設置局部凈化裝置(高效過濾器送風口、高效過湛

器風機機組、潔凈小室等)構成分散式送風的凈化空調系統。