在凈化車間中，靜電是最難控制的因素之一，靜電可以使半導體器件生產中的廢品增多、降低電子設備的可靠性。實踐證明，在半導體器件的制造和測試過程中、在運輸和儲存中、在設備的安裝和調試以及使用過程中，半導體器件都可能受到靜電的作用。因此，在半導體器件的生產中，實際上所有的制造階段都需要防止靜電對器件的作用。

消除靜電的方法很多，對有防靜電環境要求的凈化車間施工，我們可以選擇一下材料來防治靜電的產生:

采用不易產生靜電或產生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表中位置接近的材料。

所有的材料均可歸入電的導體或電的絕緣體導體是電流能夠通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。

導體由于其本身的電特性（電阻率）有著很大的差異，故又可進一步分為良導體（即通常的導體）和不良導體（即耗散材料），兩者均具有維持電流的能力而區別于絕緣體。下面用圖1來表達良導體（導體）、不良導體（耗散材料）和絕緣體的區別。

圖1

圖1中，?·cm是電阻率的測量單位，它的定義是一個邊長1m的立方體樣本維持單位電流所需的電壓值。

?/sq是表面電阻率的測量單位，其定義是單位電流通過正方形材料樣本所需的電壓。

（1）導電材料。導電材料是指表面電阻率小于1×105/sq或體積電阻率小于1×104?·cm的材料。

（2）耗散材料。耗散材料是指表面電阻率大于等于1×105?/sq，但小于1×1012?/sq或體積電阻率大于等于1×104?·cm但小于1×1011·cm的材料。

與導電材料相比，耗散材料的電荷流動速度更緩慢，但在某種程度上更容易受控。耗散材料可用于靜電放電（ESD， Electrostatic Discharge）的控制，因其放電速度緩慢，可以避免對生產的微結構如光刻工藝造成損傷。

上面提到的靜電引力和污染控制問題只是靜電造成的負面影響的一個方面，另外，靜電電荷從一個物體到另一個物體的釋放也會造成靜電損傷。靜電放電可以表現為電過載（電壓擊穿）或瞬時釋放能量（大電流）的放電形式，使產品受到實質性的損傷。

（3）絕緣材料。絕緣材料是表面電阻率大于1×1012?/sq或體積電阻率大于1×1011?·cm的材料。絕緣體消散靜電的能力很差，甚至可以忽略不計。因此，對特別好的絕緣體，如石英、特氟綸等接地不會起到任何作用。