凈化車間內的塵源主要來自生產工藝設備運轉中發塵、產品和材料運送過程中發塵、凈化車間建筑內表面等的發塵和人員產塵。來自生產設備運轉中的塵粒有的可通過局部排風裝置排除。按凈化車間的管理規定，產品和材料均應進行清潔，其在運送過程中的發塵量與人體發塵量相比是很少的。凈化車間內表面只要嚴格按規定進行清掃、清潔，其發塵量也可控制到很少。因此凈化車間的塵源主要來自操作人員的發塵，即使按規定對凈化車間人員按“人凈程序”進行了人身凈化，凈化車間內人員的產塵仍是主要污染源。在潔凈生產環境內，工作人員的發塵量多少與其穿著的潔凈工作服種類、形式和材質類型有關，與工作人員在凈化車間內的活動、動作的幅度等因素有關。

凈化車間內工作人員所散發的塵粒也包括口鼻等產生的微粒。曾經有學者對吸煙者呼氣所發出的微粒進行測試和調查，結果顯示剛吸煙者的呼氣中0.3～0.5m的微粒濃度較高。進入凈化車間的人員涂抹化妝品也是不適宜的，因其擴散到凈化車間的環境空氣中，對產品質量造成很壞影響。

近年來，在超大規模集成電路生產中，隨著高級別凈化車間和微環境技術的采用，對一些實際的凈化車間內微粒來源的測試表明，人體發塵量在全部塵源中所占比例有所下降。生物凈化車間（包括制藥工廠、生物制品工廠、食品和化妝品工廠以及醫院手術室等）還必須控制人體的發菌量。為盡量減少生物凈化車間內人體的發菌量應選用合適的潔凈工作服材料和式樣。