一、工業潔凈室電氣設備

近年來，以電子設備為代表的高技術產業飛速地向前發展著，在這些最先進的技術領域中，日新月異地進行技術革新，并把產品的微細化、高質量化、超精密化作為目標，而且為了謀求生產的高效率、高質量而建造高質量的潔凈室。

用于超大規模集成電路（VLS1）、鐘表、精密機械、光學儀器及電子儀器等制造、加工或裝配、食品生產的各類潔凈室，根據生產用途不同，而使用各種各樣的設備。超大規模集成電路制造工廠的生產設備，因為有下述各種情況，必須精心設計、精心施工。

1、消耗電力大；

2、防振動；

3、防靜電；

4、防電磁波干擾；

5、需要實行特殊接地；

6、要不停電電源

7、電壓波動、頻率變化小；

8、需要特殊電壓

在潔凈室的電氣設備中，特別重要的問題是為確保產品的質量和成品率的提高，而應把作業空間的潔凈度穩定地維持在一定的水平上。為此，必須遵守不產生灰塵、不積存灰塵、不帶入灰塵的三原則。

①不產生灰塵

·電機、通風機的皮帶等旋轉部分應選用耐磨性好，表面不產生剝離的材料；

·電梯等垂直運輸機械或水平機械的導軌、鋼絲繩的表面應不產生剝離。

②不積存灰塵

·墻面上安裝的配電盤、控制盤、開關等應盡量做成暗裝式，盡量采用凹凸少的形狀；

·配線管等以暗裝為原則，在必須明裝的情況下，無論如何也不要在水平部分明裝，只能在垂直部分明裝；

·在配件必須明裝的情況下，外表楞角要少且光滑，以便清掃；

·根據消防法規設置的安全口指示燈、疏散標志燈，需要采取不易積塵的結構；

·墻壁、地板等因為人或物的移動、空氣的反復摩擦會產生靜電而吸附灰塵，所以必須采取防靜電地板、防靜電裝修材料和接地等措施；

·照明燈具因為換燈管燈泡要定期地進行維修，所以在構造上要考慮更換燈管燈泡時使灰塵不致落人潔凈室內。

③不帶入灰塵

·在施工中使用的電線管、照明燈具、探測器、開關等應在進行充分清洗后再使用。另外，必須特別注意對電線管的保管。

·安裝于潔凈室頂棚、墻壁上的照明燈具、開關、插座等周圍的貫通部位必須密封，使之不侵人不潔的空氣。貫通于潔凈室的電線、電纜的保護管在穿墻、穿地面和穿頂棚處必須密封。

二、生物醫藥食品類潔凈室的電氣設備

生物醫藥類潔凈室主要用于藥品、生物制品、食品、化妝品和動物實驗設施等領域。這類潔凈室不僅要對空氣中的微粒進行控制，而且更主要的還應對空氣中微生物進行控制。所謂微生物，主要包括細菌、病毒等生物醫藥類潔凈室的電氣設備原則上與前述的電子類潔凈室采取類似的措施，但為了對微生物進行控制，所以對空氣（包括排氣）和設備應進行滅菌、消毒等，在選擇電氣設備時應充分考慮這些因素。

三、潔凈室的防爆電氣設備

在制造半導體的潔凈室和制造藥品、生物制品、食品的潔凈室中，常常大量使用有機溶劑。在制造粉末藥品或食品的工廠中，有產生粉塵爆炸的危險性。因而，在各種產品的制造過程中，要求有氣體防爆、粉末防爆措施。在這種情況下，這類潔凈室的電氣設備除應滿足上述潔凈室的三原則外，還必須采取各種防爆措施。

四、使用放射性物質的潔凈室的電氣設備

有放射性的物質的潔凈室，通常是用于制造醫療用放射性物質的場所。放射性物質的潔凈室的主要問題是其措施好壞與產品的質量、人的健康有關，所以應明確地分隔成管理區域和非管理區域。管理區域與潔凈室一樣要形成屏障，為了使放射性物質不向屏障外泄漏（當然也包括各個房間之間不能泄漏），在屏障的貫通部位必須用硅密封材料進行密封。